LABORATORIO DE MICRO Y NANOTECNOLOGÍA

 
Descripción:
El sistema EVG620 es una herramienta de doble uso diseñada para realizar procesos de fotolitografía de doble cara, así como procesos de litografía por nanoimpresión NIL (Nanoimprint Litography).

 
 
 
Descripción:
 
El escáner de microarreglos mide la intensidad de fluorescencia de los ácidos nucleicos (ADN o ARN) marcados que se unen al microarreglo.
Cada microarreglo es escaneado en minutos y genera archivos con la información obtenida.
 
 
 
 
Descripción:

El Sputtering es una técnica versátil que permite depositar películas delgadas (nanométricas) de cualquier tipo de material ya sea conductor o no conductor. En este proceso se pulverizan los átomos de un material sólido (blanco-cátodo) mediante el bombardeo de iones provenientes de un plasma creado a partir de Argón. Las partículas pulverizadas del blanco se depositan sobre un sustrato (ánodo) generalmente de silicio o vidrio.
 
 
 
Descripción:
El RIE es una técnica de ataque en seco que combina efectos físicos y químicos para remover materiales semiconductores y materiales depositados en la superficie de  substratos mediante la generación de un plasma a partir de gases.
 
 


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